多线切割机的现状及发展趋势
被引量:13
Multi Wire Saw Current Situation and Trend
摘要
对多线切割机的现状、代表机型及发展趋势作了简要介绍。
出处
《电子工业专用设备》
2008年第11期10-11,15,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
同被引文献52
-
1李献军.大规格纯钛铸锭成分均匀性控制技术[J].金属学报,2002,38(z1):318-319. 被引量:2
-
2中川平三郎,蒋修治.用金刚石线锯高速高精度切割加工天然大理石[J].超硬材料工程,2006,18(6):42-47. 被引量:3
-
3陈冀渝.新型超薄石材切割机[J].石材,2006(2):35-36. 被引量:2
-
4常美茹.线切割机加工半导体晶片质量控制的研究[J].半导体技术,2006,31(3):176-179. 被引量:10
-
5靳永吉.线锯切割失效机理的研究[J].电子工业专用设备,2006,35(11):24-27. 被引量:11
-
6王慧.工业测控系统VB编程[M].北京:化学工业出版社,2008.
-
7钟万勰,陆仲绩.CAE:事关国家竞争力和国家安全的战略技术——关于发展我国CAE软件产业的思考[J].中国科学院院刊,2007,22(2):115-119. 被引量:15
-
8Wang Z., Miao J. ,Tan C.W.Acoustic transducers with a perforated dampi- ng back plate based on PZT/silicon wafer bonding technique [J ].Sensor & Actuators: A.Physical, 2009,149(2 ) : 277-283.
-
9Hu Y.Q.,Zhao Y.P.,Yu T.Tensile tests of micro anchors an ordically bond- ed between Pyrex glass and aluminum thin film coated on silicon wafer [ J ].Microelectronics Reliability, 2008,48(10) : 1720-1723.
-
10张宝玉.浅谈摆动式多线切割机原理及应用[J].电子元器件资讯,2010(3):33-35.
引证文献13
-
1牛兴坤,张志军,王树荣,张杰,柴娜.天然石材多线液压切割机床的设计与研究[J].沈阳理工大学学报,2011,30(6):43-46.
-
2汪世益,刘艳艳.多线切割金属丝张力控制技术的研究现状[J].机械设计与制造,2012(7):179-181. 被引量:6
-
3陈瑞金.石英晶体多线切割机罗拉转轴轴承密封设计[J].中国化工贸易,2012,4(12):27-28.
-
4汪世益,阮超波,丁卫.多线切割机张力扰动因素分析研究[J].机械工程与自动化,2013(1):4-6. 被引量:2
-
5逯占文.Profibus总线在多线切割机控制系统中的应用[J].自动化技术与应用,2013,32(6):99-101.
-
6汪世益,阮超波,丁卫.硅片切割张力控制策略研究[J].机械设计与制造,2013(7):194-196.
-
7汪世益,阮超波,丁卫.多线切割的张力波动影响因素分析与对策[J].机械设计与制造,2013(4):107-110. 被引量:1
-
8殷华林,岳伟.金刚线多线切割主辊参数研究[J].机械研究与应用,2014,27(5):4-6. 被引量:1
-
9韦建德,潘再峰,刘浩,刘亚兰.硅片线切割机HCT-B5半载工艺研究[J].能源与环境,2016(2):47-48.
-
10高伟.多晶超薄太阳能级硅片制造技术研究[J].科技创新与应用,2016,6(23):64-64.
二级引证文献17
-
1刘洪民,武兆倩,王诗琪,魏鑫海.我国新材料产业研究热点与前沿趋势可视化分析[J].科技促进发展,2023,19(7):484-492. 被引量:1
-
2汪世益,阮超波,丁卫.硅片切割张力控制策略研究[J].机械设计与制造,2013(7):194-196.
-
3王英剑,苏中,刘洪.高精密多轴位移平台栅丝张力检测仪的实现[J].传感器与微系统,2019,38(1):114-116. 被引量:1
-
4张国庆,于贺春,赵则祥,赵惠英.往复式单线切割机的张力波动研究[J].机床与液压,2014,42(19):127-130. 被引量:1
-
5殷华林,岳伟.硅片多线切割机主辊变形的研究分析[J].机械研究与应用,2015,28(2):32-33. 被引量:1
-
6杨雨浩.金属压力加工张力控制及对策浅析[J].中国设备工程,2017(1):98-99. 被引量:1
-
7唐君豪,王志辉,聂俊杰.基于EtherCAT的金刚线多线切割机控制系统研究[J].机械设计与制造,2017(9):105-108. 被引量:1
-
8高志,高雄.基于LabVIEW的新型金刚砂线切割设备的研发[J].机械设计与制造,2018(5):194-196. 被引量:1
-
9牛祥永,林君焕.多线切割机恒张力自适应控制[J].系统仿真技术,2018,14(3):216-220. 被引量:2
-
10管永强,林罗刚,朱阳.太阳能硅片多线切割张力控制改进研究[J].装备制造技术,2018(2):161-164. 被引量:1
-
1周庆亚,付纯鹤,陈学森,谢耿勋.多线切割机摆动方式研究[J].电子工业专用设备,2016,45(9):22-24. 被引量:2
-
2江国中,蒋云龙,王学军.单多晶太阳能硅片切割线痕问题研究[J].电子工业专用设备,2013,42(1):21-24. 被引量:2
-
3王欣,衣忠波.单线切割设备的切割方式研究[J].电子工业专用设备,2015,44(1):9-13. 被引量:1
-
4Andreas Lindemann.功率半导应用专栏(连载)(八) 应用于高端电源的新型半导体材料功率器件[J].电源世界,2004,0(9):68-71.
-
5日本科研人员发明新工艺半导体生产技术[J].新材料产业,2004(9):76-76.
-
6董和媛,贺敬良.多线切割机线张力控制技术研究[J].机床与液压,2012,40(10):8-11. 被引量:2
-
7王广峰.多线切割机磨削热的不良影响及消除[J].电子工业专用设备,2009,38(5):39-42.
-
8李保军,冯涛.多线切割工艺中切割线直径对翘曲度影响的研究[J].电子工业专用设备,2009,38(8):16-19. 被引量:6
-
9陆金周.上海智密——通用LED照明淘金正当时[J].华东科技,2008(4):54-55.
-
10宫建华,朱卫良,吕栋,陆坚,杜迎.埋砂法恒定加速度试验的受力分析[J].电子与封装,2004,4(2):45-46. 被引量:3