接触式干涉仪示值误差检定及滤光片校准

接触式干涉仪是应用光波干涉原理，对微小位移进行测量的精密仪器。采用比较法，即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法，其可用于检定长度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为±50分度，刻度尺的分度值（可调）推荐采用的为0．05μm、0．1μm、0．21μm三种。