二维微透镜列阵制备的新方法及技术研究

1.概述二维微透镜列阵是光学前沿学科——微光学的关键器件。制备微透镜列阵的传统方法是离子交换形成梯度折射率(GRIN)法和光敏玻璃热成形法(光解法)以及二元光学制备微透镜法(二元Fresnel法),近几年又提出光刻胶热熔法(光熔法)。本项目是提出一种新的光刻热熔法,用于制备高精度,低成本的微透镜列阵,从而克服上述方法的不足。我们已用这种光刻热熔法制成20×20,相对口径F/D=2的微透镜列阵,微透镜单元口径为90μm,单元之间中心距为100μm,测试结果表明本方法制备的微透镜列阵,具有如下完善的性能: (1)面形误差<1.3λ(λ=0.63μm);