摘要
利用激光分子束外延镀膜设备,实现了原子层水平BaTiO_3(BTO)薄膜的外延生长.高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜和透射电子显微镜(TEM)等研究结果表明,薄膜的结构为c-取向单相BTO铁电薄膜,表面非常平整。在此基础上制备了铁电/超导多层异质结构.研究了BTO薄膜的铁电性质。结果表明用激光分子束外延方法有利于改进BTO薄膜的质量,提高薄膜器件的性能。
出处
《中国科学（A辑）》
CSCD
1997年第1期54-59,共6页
Science in China(Series A)
基金
国家自然科学基金
中华人民共和国财政部
国家超导研究中心
中国科学院
国家教委回国人员专项基金资助项目
