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不同形成液对低压铝阳极电容量的影响

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摘要 研究了磷酸-氨水,已二酸铵--水系和加入NH4H2PO4等形成液对形成后低压铝阳极电容量的影响。结果表明,加入NH4H2PO4后的已二酸铵-水系形成液在20-30伏形成电压时为最佳。
作者 宋永祥
出处 《上海微电子技术和应用》 1997年第3期1-3,共3页
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