摘要
研究了对向靶反应溅射法制备的CoN/CN软X射线多层膜的结构稳定性。研究表明,通过掺杂N原子可以将Co/C软X射线多层膜的结构稳定性提高100～200℃.400℃温度下退火,CoN/CN多层膜的周期膨胀仅为4％,700℃时周期结构仍然存在.N掺杂可以有效抑制CN层中sp^3键的形成,延迟层内结晶过程,进而减小了周期膨胀.Co-N和C-N间存在的强化学键可以减小结构弛豫.填隙N原子增大了Co原子运动的粘滞性,使hcp-Co和fcc-Co在相变温度以上共存,抑制了高温下晶粒长大.
出处
《中国科学（A辑）》
CSCD
1997年第9期827-835,共9页
Science in China(Series A)
基金
国家自然科学基金
和北京中关村地区联合分析测试中心资助项目
