超薄薄膜的近红外（NIR）检测技术

用可见光和近红外（NIR）的光谱分析来检测电子硅片上涂层的厚度已有数十年的历史，这种方法所使用的设备费用超过10万美元。通过不断改进，Filmetrics公司推出了一种光谱反射厚度测量仪（Spectral Reflectance Thickness Gauge），价格约1万美元。