FSI再收POLARIS光刻系统订单

FSI国际有限公司日前宣布再次收到POLARIS显微光刻系统订单,该订单来自一家领先的砷化镓（GaAs）器件代工厂。这一订单代表了GaAs客户数量不断增长的趋势,他们选用POLARIS,缘于该系统的卓越性能加上公司在敏感砷化镓底材处理方面的15年经验。