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位置随动系统在ITO薄膜激光刻蚀设备中的运用

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摘要 ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PETFilm上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备,与其他激光设备一样,在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介绍了位置随动系统在控制激光器中的应用.以及此系统的优势所在。
机构地区 苏州大学
出处 《中国高新技术企业》 2008年第24期78-78,81,共2页 China Hi-tech Enterprises
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