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位置随动系统在ITO薄膜激光刻蚀设备中的运用
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摘要
ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PETFilm上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备,与其他激光设备一样,在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介绍了位置随动系统在控制激光器中的应用.以及此系统的优势所在。
作者
刘思远
刘文杰
机构地区
苏州大学
出处
《中国高新技术企业》
2008年第24期78-78,81,共2页
China Hi-tech Enterprises
关键词
ITO薄膜激光刻蚀
位置随动系统
半导体激光器
分类号
TP275 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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