砷化镓金属半导体场效应管接触退化的检测与分析技术

本文叙述了反映砷化镓金属半导体场效应管接触退化的结构敏感参数的检测技术，并通过实例说明如何根据结构敏感参数的变化对砷化镓金属半导体场效应管进行失效定位和失效机理分析。