摘要
采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容.
出处
《中国科学（E辑）》
CSCD
北大核心
2008年第8期1348-1352,共5页
Science in China(Series E)
基金
国家自然科学基金(60676047)
上海应用材料研究与发展基金(06SA11)资助项目
