沈阳芯源微电子设备有限公司 自主创新实现IC装备技术跨越式发展

沈阳芯源微电子设备有限公司致力于集成电路生产设备的研发、制造、销售及服务，是国内IC装备行业的领先企业。通过引进消化，公司突破了关键核心技术，自主创新开发的Track系列产品填补了国内空白，达到国际先进水平，成功实现了技术的跨越式发展，使我国在集成电路制造领域的匀胶显影技术提升了三个产品代，与国际最先进技术的差距缩短了15年。