MT-CVD 氮碳化钛涂层新工艺被引量：7

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摘要ＭＴ┐ＣＶＤ氮碳化钛涂层新工艺机械部成都工具研究所（６１００５６）陈旭ＭＴ－ＣＶＤ（中温化学气相沉积）氮碳化钛涂层工艺是瑞士Ｂｅｒｎｅｘ公司在ＣＶＤ涂层工艺上的一系列创新成果之一，已获得专利权。采用ＨＴ－ＣＶＤ（高温化学气相沉积）工艺沉积氮碳化钛Ｔｉ...

作者陈旭

机构地区机械部成都工具研究所

出处《工具技术》北大核心 1998年第1期20-22,共3页 Tool Engineering

关键词 MT-CVD 氮碳化钛刀具表面处理涂层

同被引文献138

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工具技术

1998年第1期

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