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极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发
被引量:
1
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摘要
进入21世纪,世界全面进入了信息化时代,信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业,我国政府已把信息产业作为一个重要的支柱产业。半导体集成电路产业是现代信息产业和信息社会的基础,而大规模集成电路设计制造业更是信息产业的先导和基石,是计算机和通讯设备信息家电的心脏,其影响面广,产业链长。
作者
詹家荣
机构地区
上海华谊微电子材料有限公司副总经理
出处
《化学试剂》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期72-73,共2页
Chemical Reagents
关键词
极大规模集成电路工艺
超净纯试剂
研制
产业化
开发
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
F407.63 [经济管理—产业经济]
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化学试剂
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