摘要
简要介绍了纳米材料、硅纳米材料的起源、发展,着重按硅纳米线的生长机理概括了5种合成方法:气-液-固生长法、有机溶液生长法、氧化物辅助生长法、分子束取向附生法、固-液-固生长法。
The origin and development of nano materials/nano-silicon materials is introduced briefly with focus on five kinds synthesis methods, which are gas-liquid-solid growth method, oxide-assisted growth method, molecular beam epitaxy and solid-liquid-solid growth method.
出处
《有机硅材料》
CAS
2009年第1期60-62,共3页
Silicone Material
关键词
硅纳米材料
硅纳米线
激光烧蚀法
热气相沉积法
化学气相沉积法
微电子
silicon nano-materials, silicon nanowires, laser ablation method, heat deposition, chemical vapor deposition, semiconductor