摘要
介绍了一种用于工程表面形貌测量中的基于傅科探测法的光针式位移传感器的测量原理,运用波动光学理论对该传感器光学模型进行了理论分析,并运用Matlab进行了仿真实验。
An optical stylus displacement sensor, which can be applied in engineering surface measurement, based on Foucauh focus detection method is presented. The optical model of the displacement sensor is analyzed with wave optics theory, and simulation experiment with Matlab is applied.
出处
《湖北汽车工业学院学报》
2008年第4期26-28,共3页
Journal of Hubei University Of Automotive Technology
基金
国家自然科学基金资助项目(50745020)
湖北省教育厅重点项目(D20082301)
关键词
波动光学
光针法
位移传感器
wave optics
optical stylus method
displacement sensor
