摘要
针对目前高精度，大量程的非球面检测需求，综合考虑各部件对平台精度的影响，完成了对平台的机械系统，探测系统和运动控制系统的设计．该非球面光学元件检测平台采用花岗岩框架结构，以增加整体结构的刚度，减小自身热变形引起的几何误差．系统的探测系统采用了接触／非接触式双重测量的检测方法，既提高了测量的速度，又增加了测量数据的可靠性．运动控制系统则采用运动控制卡＋伺服电机的三轴联动的开放式运动控制方式，满足了高精度非球面光学元件的检测需要．
出处
《厦门理工学院学报》
2008年第B12期81-84,共4页
Journal of Xiamen University of Technology
基金
福建省科技计划重点项目基金资助（2008H0012）
