一种废气处理方法和装置

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摘要该发明公开了一种对半导体生产线、集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇吸排的废气首先通过层状活性炭除味过滤器进行预过滤，将废气中的气相和／或汽相带有异味的物质除去；接着废气通过袋式除尘器将粉尘等除去。进入袋式除尘器内的废气已经通过预过滤器将附着性较强的气相和／或汽相的带有异味的物质除去，

出处《化工环保》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期454-454,共1页 Environmental Protection of Chemical Industry

关键词废气处理装置半导体生产线袋式除尘器集成电路器件预过滤器行处理活性炭附着性

分类号 X701 [环境科学与工程—环境工程] TQ172.688 [化学工程—水泥工业]

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