共焦激光扫描显微镜及其应用

共焦激光扫描显微镜（ＣＬＳＭ）是将激光光学和数字图像处理技术相结合产生的一种新型高分辩率的表面检测设备。它能在自然环境下对固体表面进行无损伤检测，其三维图像的横向和纵向分辨率分别可达０．１μｍ和５０ｎｍ。本文介绍了ＣＬＳＭ的构造、工作原理，讨论了ＣＬＳＭ在半导体集成电路芯片缺陷的检测和分子生物学领域的应用。并简要的对今后的发展方向提出了一些看法。