激光干涉定位中调制的作用及调制频率的选择

高精度的定位器是精密测量，精密加工及机器人的重要保证。激光干涉定位器具有测量范围大，测量无接触，精度可达０．１－０．０１μｍ，因而具有乐观的应用前景。各国都作了大量的研究工作，并取得了进展。文章对激光干涉定位的机理进行了阐述，着重讨论了调制的作用，给出了实验数据。