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支持3个FOUP可同时搬运5枚晶圆的机器人
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摘要
日本电产三协在“SEMICON JAPAN2008”（2008年12月3日～5目）上展出了支持3个FOUP、可同时搬运5枚晶圆的搬运机器人。电产三协将机器人装配在展位内，现场演示了搬运晶圆的状况。
出处
《机电工程技术》
2009年第1期6-6,共1页
Mechanical & Electrical Engineering Technology
关键词
搬运机器人
晶圆
SEMICON
机器人装配
现场演示
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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机电工程技术
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