FeCoZrBCu薄膜的制备及其结构对磁性能的影响

纳米晶软磁合金因具有良好的软磁性能及广泛的用途而受到关注。近年来，一种纳米晶软磁合金（Fe，Co）BMCu（M=Zr，Nd，Hf）问世，这种合金可将纳米软磁合金的应用温度大幅度提高。通常，纳米晶软磁合金是用单辊快淬及随后的晶化退火来制备，而北京航空航天大学的崔佳萍等人则用直流磁控溅射法制备了（Fe，Co）BMCu（M=Zr，Nd，Hf）合金薄膜，并且研究了薄膜的组织结构及其对性能的影响。