《超精密空气静压轴承研磨机的设计》

本文采用先进的空气润滑理论,通过有限元计算设计了高精度的主轴系统,并利用超定位技术、电机与研磨机主轴一体化技术设计出了体积小、精度高、性能指标达到国际先进水平的超精密空气静压轴承研磨机。