新型三氯氧磷集中安全供应系统

介绍了一种新型的三氯氧磷集中供应装置。该装置通过对不锈钢表面化学气相沉积处理,实现了防腐功能。同时采用全自动集中供应方式,确保了硅太阳电池扩散炉生产中的安全和纯度控制。