期刊文献+

纳米工作台定位控制研究 被引量:1

下载PDF
导出
摘要 介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统,重点在对宏微动态切换时宏动台固定与否对其自身振动情况的影响进行测试分析。研究表明,宏动台被锁定后可以明显减小其台面振动幅度,对后面微动台以及整个系统定位精度的提高起着关键性作用。
作者 韩颖 陆林海
出处 《机械制造》 2009年第1期7-9,共3页 Machinery
基金 国家"863"高技术研究发展计划项目(编号:2002AA404450) 教育部高等学校重点学科建设资助项目(编号:Y0102) 上海市重点学科建设资助项目:(编号:BB67)
  • 相关文献

参考文献6

  • 1Heui Jae Pahk etc. Ultra Precision Positioning System for Servo Motor-piezo Actuator Using the Dual Servo Loop and Digital Filter Implementation[J]. Machine Tools & Manufacture, 2001,41:51 -63.
  • 2Jongsung Park, Kyuwon Jeong. Modeling of a PZT Actuator for a Robust Position Control [ C ]. International Conference on Positioning Technology, 2006, Korea.
  • 3欧阳航空,陆林海,华晓青.基于PMAC的精密定位系统研究[J].机电一体化,2005,11(1):30-32. 被引量:10
  • 4Kaiji Sato, Guiherme Jorge Maeda. Practical Control of a Ball Screw Mechanism for Ultra Precision Positioning[C ]. International Conference on Positioning Technology, 2006, korea.
  • 5巩娟,李庆祥,李玉和.精密工作台的设计与实验研究[J].光学技术,2005,31(4):636-638. 被引量:4
  • 6刘红忠,卢秉恒,丁玉成,李寒松,严乐.超高精度定位系统及线性补偿研究[J].西安交通大学学报,2003,37(3):277-281. 被引量:7

二级参考文献10

共引文献18

同被引文献6

  • 1林刚勇,马善农,许邦莲.CY7C68013在数据传输中的应用[J].微计算机信息,2007,23(29):76-78. 被引量:14
  • 2http://wwww.globalspec.com/ProductFinder/Motion_Controls/Linear_Actuators,2004 Global Spec,Inc.
  • 3于海利.基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究,2011.
  • 4Information onhttp://www.npoint.com/Products/npcontrol-software.html.
  • 5Information on http://www.Physikinstrumente.com/en/products/software/index.php.
  • 6Cypress Cypress CyUSB.NET DLL Programmer 's Reference.

引证文献1

二级引证文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部