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激光分子束外延和关键技术研究
被引量:
6
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摘要
较为系统地介绍了一台激光分子束外延的总体结构和关键技术研究 .同时使用该设备和技术 ,实现精确控制原子尺度外延生长 ,获得原子尺度光滑表面的氧化物外延薄膜等实验结果 .
作者
杨国桢
吕惠宾
陈正豪
崔大复
王会生
杨海清
缪风英
周岳亮
李林
机构地区
中国科学院物理研究所
中国科学院凝聚态物理中心
中国科学院凝聚态物理中心
国家超导实验室
出处
《中国科学(A辑)》
CSCD
1998年第3期260-265,共6页
Science in China(Series A)
基金
国家自然科学重点基金资助项目!(批准号 :6 94370 10 )
中国科学院和国家超导中心资助项目
关键词
激光分子束外延
PLD
外延生长
薄膜
制备
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
引文网络
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纳米薄膜脉冲激光沉积技术[J]
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1998年 第3期
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