FSI进军单晶圆清洗市场

下载PDF

导出

摘要 FSI International日前在上海举办的“FSI知识服务系列研讨会”上,宣布推出全新的ORION单晶圆清洗系统。FSI营销和产品管理副总裁Scott Becker表示,创新性单晶圆清洗平台ORION系统的推出,正是为满足客户在先进工艺上更苛刻的要求,表明了FSI愿意与中国集成电路制造业共同开发最先进工艺技术的承诺。

出处《集成电路应用》 2008年第11期20-20,共1页 Application of IC

关键词清洗市场 FSI 单晶圆 ORION系统集成电路制造业 SCOTT 知识服务清洗系统

分类号 TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学] TU998.13 [建筑科学—市政工程]

引文网络
相关文献

1本刊通讯员.FSI国际在上海宣布推出ORION~单晶圆清洗系统[J].电子与封装,2008,8(11):43-43.
2本刊通讯员.FSI国际ORION~单晶圆清洗系统获得重要半导体制造商订单[J].电子与封装,2009,9(1):6-6.
3新产品[J].集成电路应用,2007,24(6):53-54.
4FSI国际在上海宣布推出ORION~单晶圆清洗系统[J].电子工业专用设备,2008,37(11):70-71.
5FSI推出适用于32nm的ORION单晶圆清洗系统[J].中国集成电路,2008,17(11):4-4.
6FSI国际在上海宣布推出ORION单昌圆清洗系统[J].半导体技术,2008,33(12):1150-1150.
7徐渊,赵德林,刘忠立,薄建国.面向未来的IC设计方法[J].电子产品世界,2001,8(18):70-71.
8ORION单晶圆清洗系统[J].集成电路应用,2008,25(11):49-49.
9高压0.18μm先进工艺技术[J].中国集成电路,2007,16(7):36-37.
10崔晓楠.逻辑器件中的节能技术[J].今日电子,2009(3):30-31.

集成电路应用

2008年第11期

浏览历史

内容加载中请稍等...

FSI进军单晶圆清洗市场

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史