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爱发科“追求真空极限”
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摘要
半导体芯片制造、光电产业、太阳能电池片的工艺设备约八成与真空技术息息相关,成立于1952年的爱发科(ULVAC,前身为日本真空技术株式会社),正是以真空技术为基础,产品覆盖FPD、太阳能电池、半导体、先端研发等,提供多元的综合性的真空设备解决方案的供应商。爱发科真空技术(苏州)副总经理干振伟表示,爱发科以追求极致真空(Ultimate in Vacuum)服务于整个产业。
出处
《集成电路应用》
2008年第11期21-21,共1页
Application of IC
关键词
真空技术
太阳能电池
极限
设备解决方案
光电产业
芯片制造
工艺设备
株式会社
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TB7 [一般工业技术—真空技术]
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