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爱发科“追求真空极限”

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摘要 半导体芯片制造、光电产业、太阳能电池片的工艺设备约八成与真空技术息息相关,成立于1952年的爱发科(ULVAC,前身为日本真空技术株式会社),正是以真空技术为基础,产品覆盖FPD、太阳能电池、半导体、先端研发等,提供多元的综合性的真空设备解决方案的供应商。爱发科真空技术(苏州)副总经理干振伟表示,爱发科以追求极致真空(Ultimate in Vacuum)服务于整个产业。
出处 《集成电路应用》 2008年第11期21-21,共1页 Application of IC
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