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铬合金正重蹈渡渡鸟的覆辙?
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摘要
在光掩膜工业中,铬合金已经令人满意地被使用了几十年,它可能渐渐被一种更好的合金硅化钼(MoSi)所取代。
出处
《集成电路应用》
2008年第11期31-31,共1页
Application of IC
关键词
铬合金
渡渡鸟
金正
膜工业
硅化钼
分类号
TQ028.8 [化学工程]
TG144 [金属学及工艺—金属材料]
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集成电路应用
2008年 第11期
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