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一种具有窗口的双介质SOI耐压结构及其SOI功率器件

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摘要 具有窗口的双介质SOI耐压结构及其SOI功率器件是一种用于功率器件的具有窗口的双介质层SOI耐压结构以及采用具有窗口的双介质层SOI耐压结构的SOI功率器件,其特征是,耐压层结构含有两层介质层,两介质层之间填充半导体或半绝缘材料,且第一层介质有窗口。
出处 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期156-156,共1页 Journal of University of Electronic Science and Technology of China
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