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洁净室标准的国际化趋势 被引量:5

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摘要 本文以美国洁净室标准FS-209为基础,对比有关各国的洁净室标准的内容范围及洁净度等级,并着重对洁净室洁净度等级的划分、命名及级限进行分析;对洁净室标准国际化工作及其进展情况进行介绍。 1 有关各国的洁净室(包括洁净室及相应被控环境)
作者 严德隆
出处 《洁净与空调技术》 1998年第2期1-5,10,共6页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology
  • 相关文献

参考文献6

  • 1Standards and Guidelines,Worldwide (Session 15) Proceedings ICCCS 90 Zurich/swizterland 1990.
  • 2A.Y.Fedotov Russian State standard on Cleanrooms Proceedings ICCCS,1996,The Hague,Nederlandg.
  • 3Newsletter of The Scottish Society for Contamination Control.
  • 4Contamination Control News semiconductor Intemational May 1995.
  • 5Clobal Standards Cleanroom,Technology AuTumn,1996.
  • 6有关FS - 209 洁净室标准.

同被引文献9

引证文献5

二级引证文献20

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