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洁净室标准的国际化趋势
被引量:
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摘要
本文以美国洁净室标准FS-209为基础,对比有关各国的洁净室标准的内容范围及洁净度等级,并着重对洁净室洁净度等级的划分、命名及级限进行分析;对洁净室标准国际化工作及其进展情况进行介绍。 1 有关各国的洁净室(包括洁净室及相应被控环境)
作者
严德隆
机构地区
中国电子工程设计院
出处
《洁净与空调技术》
1998年第2期1-5,10,共6页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
洁净室
标准
国际化
洁净度
分类号
TU834.854 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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