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略谈智能传感器的设计与制造 被引量：3

About Some Problems in Design and Making Smart Sensors
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摘要 简要介绍了智能传感器设计与制造，其中包括微机械加工技术及电子电路的设计。 Some problems in design and making smart sensors, including some consideration about micromachining processing technology and electronic circuit design are introduced.
作者 王祁 于航
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《传感器技术》 CSCD 1998年第2期50-53,共4页 Journal of Transducer Technology
关键词 智能传感器 微机械加工 设计 制造 Smart sensor Micromachining processing technology
分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH－39 [机械工程]
  • 相关文献

参考文献1

  • 1刘广玉，新型传感器技术及应用，1995年

同被引文献12

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引证文献3

二级引证文献23

传感器技术
1998年 第2期

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