压力传感器的研究现状与发展趋势被引量：9

Current Status and Future Development in the Field of Pressure Sensor

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摘要论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数，为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。 The state of study and future development in the field of pressure sensor are discussed and a large number of data and parameters are given in the paper.

作者吕惠民田敬民

机构地区西安理工大学应用物理系器件教研室

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期11-13,28,共4页 Semiconductor Technology

关键词压力传感器线性度测量 Pressure sensor Linearity Measurement

分类号 TH812 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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