摘要
论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数,为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。
The state of study and future development in the field of pressure sensor are discussed and a large number of data and parameters are given in the paper.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第2期11-13,28,共4页
Semiconductor Technology
关键词
压力传感器
线性度
测量
Pressure sensor Linearity Measurement