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平面交叉指状电极间电场分布 被引量：1

Electric field distribution between interdigital electrodes
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摘要 研究了具有金属－半导体－金属结构的探测器内部电场与其几何尺寸的关系，并求出了使探测器内部电场均匀性、稳定性达到最佳的几何条件。 Dependence of electric field in MSM-PD on its geometry dimensions is studied.Optimum geometry conditions for realization of uniformity and stability of electric field in MSM-PD are given.
作者 史常忻 覃化 邵传芬 曹俊峰
机构地区 上海交通大学
出处 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期27-30,共4页 Semiconductor Optoelectronics
关键词 半导体器件 MSM-PD 光电器件 Semiconductor Devices,MSM-PD,Electric Field Distribution,Interdigital Electrode
分类号 TN15 [电子电信—物理电子学] TN305 [电子电信—物理电子学]
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同被引文献6

  • 1Hirsch L,Moretto P,Duboz J Y,et al.Field distribution and collection efficiency in an AlGaN metal-semiconductor-metal detector[J].J.Appl.Phys.,2002,91(9):6 095-6 098.
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引证文献1

二级引证文献1

半导体光电
1998年 第1期

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