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微电子技术发展的回顾与展望

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作者邝心湖

出处《电子与信息化》 1998年第3期54-57,共4页

关键词微电子技术深亚微米大尺寸晶片 IC

分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]

引文网络
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电子与信息化

1998年第3期

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