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多晶硅制备技术国家工程实验室落户中硅高科

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摘要 目前,国家发改委正式批复,同意在中硅高科建设多晶硅材料制备技术国家工程实验室,并安排1500万元国家投资补助资金给予支持。
出处 《电子工业专用设备》 2009年第1期56-56,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
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