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多晶硅制备技术国家工程实验室落户中硅高科
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摘要
目前,国家发改委正式批复,同意在中硅高科建设多晶硅材料制备技术国家工程实验室,并安排1500万元国家投资补助资金给予支持。
出处
《电子工业专用设备》
2009年第1期56-56,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
材料制备技术
多晶硅
实验室
工程
国家发改委
国家投资
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TB3 [一般工业技术—材料科学与工程]
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电子工业专用设备
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