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普发真空推出模块化真空泵组
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摘要
为了适应研发、加速器、分析、表面物理以及真空工艺技术、电子束焊接和检漏设施等方面的应用要求,普发真空研发了HiCube系列高可靠性的涡轮分子泵组。该泵组采用了模块化设计,可以满足客户从35-685L/s不同抽速的需求;全配置并可立即投入使用,前级泵和涡轮分子泵的完美组合提供了“即插即用”的功效。
出处
《现代制造》
2009年第4期15-15,共1页
Maschinen Markt
关键词
模块化设计
真空工艺
泵组
涡轮分子泵
电子束焊接
表面物理
高可靠性
be系列
分类号
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
TQ024 [化学工程]
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