微尺度激光蚀刻装置为微型芯片电路刻制提供新思路
摘要
就像利用聚光镜在太阳光下聚光一样的方式，普林斯顿大学的激光蚀刻系统几乎可以对所有东西的表面进行纳米级的阵列图案刻制。
出处
《光机电信息》
2008年第7期60-60,共1页
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