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准分子激光深层光刻蚀在 LIGA 工艺中的应用 被引量：2

The Application of Excimer Laser Deep Lithography in LIGA Process
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摘要 介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺的深层光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。 In the paper an excimer laser lithography apparatus is described.This apparatus is applied in deep lithography for LIGA process successfully.The lithography experiment result shows us that excimer lasr deep lithography is very pratical to LIGA process.
作者 沈蓓军 王润文 路敦武 黄惠杰
机构地区 中国科学院上海光学精密机械研究所
出处 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第2期56-60,共5页 Optics and Precision Engineering
基金 国家攀登计划资助课题
关键词 微机械 微细加工 LIGA工艺 光刻 激分子激光 MEMS,Micromachining,LIGA process,Lithography
分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献2

  • 1张玉书，准分子激光器微细加工技术，1990年，243页
  • 2王之江，光学学报，1987年，7卷，2期，159页

同被引文献18

  • 1姚震宇,吕百达,涂波,蒋建锋,童立新,武德勇,高清松,陈晓琳.100W二极管泵浦Nd:YAG薄片激光器[J].强激光与粒子束,2004,16(9):1116-1118. 被引量：15
  • 2郝沛明.JK－1型半自动接近式光刻机照明系统的研制[J].光电工程,1981,(5):17-23.
  • 3王仕番 朱自强.现代光学原理[M].成都:电子科技大学出版社,1998..
  • 4李路明,王立鼎.MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J].光学精密工程,1997,5(1):67-73. 被引量：18
  • 5LOPER E J,LYNCH D D,STEVENSON K M.Design of small spherical resonator gyroscope[Z].Goleta,California.
  • 6王大春.微型振动定位器[M]..特种电子元器件文集[C].,2002..
  • 7方针.CPLD技术在振动定位器中的应用[M]..中国惯性技术学会第五次学术交流会论文集[C].,2004..
  • 8LI J F,MOSES P,VIEHLAND D.Simple high-resolution interferometric for the measurement of frequency-dependent complex piezoelectric responses in ferroelectric ceramics[J].Rev.Sci.Instrum.,1995,66(1):215-221.
  • 9SANIE J,LUUKKALA M.Digital phase detection based on in-phase and quadrature sampling[J].J.Phys.E:Sci.Instrum.,1983,16:606-607.
  • 10MOMO F,RANIERRI G A,SOTGIU A,et al.Microcomputer based phase sensitive detector[J].J.Phys.E:Sci Instrum.,1981,14:1253-1256.

引证文献2

二级引证文献2

光学精密工程
1998年 第2期

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