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《电镀与精饰》2009年第3期摘要及目次
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摘要
磁控反应溅射制备钇掺杂Ti2薄膜的研究采用混合靶直流磁控反应溅射法,在玻璃基体上溅射沉积了含有氧化钇的TiO2薄膜。
出处
《表面工程资讯》
2009年第1期52-53,共2页
Information of Surface Engineering
关键词
TiO
铬酸盐转化膜
铝合金
复合膜
轻有色金属合金
氧化膜
阳极氧化法
导电墨水
直流磁控反应溅射法
目次
摘要
分类号
TG [金属学及工艺]
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