摘要
微机电系统技术是国际上８０年代后期以来发展迅速的一项新兴高技术。现在和潜在的应用说明它将对国防武器装备产生重大影响。微机械制造技术和封装、组装、测试技术是微机电系统赖以发展的基础。目前，许多工业发达国家已将微机电系统及其制造技术列为本世纪末和２１世纪初国家重点支持和发展的关键技术。本文集中探讨对国防应用有重要意义的微机电系统及其制造技术。
icroelectromechanical systems (MEMS) means batch-fabricated miniature devices. This report summarizes recent activities in the development of MEMS,applications and process technology. The characteristics and the trends of the manufacturing technology are described. This technology have been become the key development item in developed countries.
出处
《航空制造工程》
1998年第3期13-15,共3页
Aviation Engineering & Maintenance
关键词
微机电系统
制造技术
封装技术
航空工艺
MEMS Microelectromechanical systems manufacturing technology Packaging technique Aviation technique
