InGaAsP／InP正方形微腔激光器

采用平面工艺制作的定向输出微腔半导体激光器是集成光学回路的理想光源。近十几年来，以微盘为代表的回音壁模式（whispering-gallery mode）微腔激光器引起人们很大的重视。但圆对称的微盘激光器缺乏定向的激光输出，人们往往利用输出波导与微盘实现消逝波耦合或通过改变微盘的对称性来实现定向输出。最近几年，多边形微腔如正三角形、正方形、长方形、六边形等多边形光学微腔也引起人们的重视。多边形光学微腔中也能有高Q值的类回音壁模式，而且由于不具有圆对称性，其模式特性有利于简单地实现定向光输出。