平面工艺制作的定向输出微腔半导体激光器

光学微腔中偶极子自发辐射受到空间和频谱调制，能实现自发辐射增强或抑制效应，而且其有源区体积可以非常小，有利于极低阈值工作和极高的调制速率。在过去的二十多年来，垂直腔面发射激光器、回音壁模式（whispering—gallery mode）微腔激光器以及光子晶体微腔激光器三类光学微腔激光器的研究取得了很大的进展。回音壁模式微腔中，模式光线由于其在微腔界面的入射角大于全反射临界角而受到限制，是一种结构非常简单的光学微腔。