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光学在大型几何尺寸测量中的应用
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摘要
介绍了几种光学原理在大型几何尺寸测量中的应用.讨论的内容包括:多波长、双波长合成波长绝对距离干涉测量;激光频率分裂干涉测量;线性调频绝对距离干涉测量;相位板激光准直;旋光激光准直;半导体激光动态定位等.文章介绍了测量系统的工作原理。
作者
王佳
李达成
机构地区
清华大学精密仪器系
出处
《物理》
CAS
1998年第1期41-47,共7页
Physics
关键词
光学测量
激光干涉测量
大型几何尺寸
大尺寸测量
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TG81 [金属学及工艺—公差测量技术]
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