摘要
本文提出一种用于空间自由曲面测量的多信息输出位移传感器该传感器结构简单,传感器的输出量与被测量成线性关系,不但能给出位移信息、倾斜角度。
In this paper,a displacement sensor of multi information output for measuring 3D free form surfaces is proposed.This sensor is simple structure;its output is linearly proportional to the measured displacement in optical principle;it can give not only displacement and inclination angle,but also intensity information of measuring light.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第2期132-135,共4页
Acta Photonica Sinica
基金
南开大学国家教委光学信息技术开放实验室资助
关键词
位移
传感器
多信息输出
曲面测量
面形传感
Displacement sensor,Multi information output,Surface measurement