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正入射Mo/B_4C软X射线多层膜 被引量：3

NormalIncidence Mo/B4C Soft X-Ray Multilayer
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摘要 采用Ｍｏ／Ｂ４Ｃ材料在短波长波段（λ＜１０．０ｎｍ）进行软Ｘ射线多层膜实验研究。在指定波长（８．０ｎｍ附近）处对多层膜进行结构设计，并制备出了周期结构准确的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ多层膜样品。 The preliminary results of making Mo/B4C multilayer mirrors at wavelength below 10.0 nm are presented. The multilayer structure was calculated at designed wavelength (λ=8.0 nm), and the sample mirror were deposited by magnetron sputtering technique.
作者 吕俊霞 马月英 张俊平 曹健林
机构地区 中国科学院长春光学精密机械研究所
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期109-111,共3页 Acta Optica Sinica
基金 国家自然科学基金 国家科委863高科技资助
关键词 软X射线 多层膜 正入射 钼/碳化硼 薄膜光学 soft Xray, Mo/B4C multilayer, normal incidence.
分类号 O484.41 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献4

共引文献8

同被引文献13

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引证文献3

二级引证文献20

光学学报
1998年 第1期

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