用纳米印刷技术制备微机械和微流体金属光栅器件

纳米印刷技术是一种制备大面积亚波长光栅的新技术。基于此光栅的滤光器具有光谱的特性。利用波长耦合分析法对光栅进行理论模拟,此模拟允许反射率取最大和最小值;利用微电子机械系统(MEMS)制备微流体和微机械光栅,这些光栅是制备可调滤光器和其他可选择波长器件的基本元件。这些可调器件通过改变光栅表面的折射率实现波长的选择。如果在光栅表面附着一层水膜,光栅共振波长可改变33%;如果在光栅表面覆盖石英,则共振波长从558nm改变到879nm,波长改变率高达58%。此外,大约有3种因素可改变单一波长的折射率。这些光栅器件在可调滤光器或光调节器方面有着重要的应用价值。