摘要
本文对光学薄片用作检测微小深度敏感元件的机理进行了研究，得到了敏感元件输出与输入间的关系式，对微精加工中离子束刻蚀深度的传感技术具有现实意义。
In the paper, sensitive element's mechanism is studied and the relational expression between the output and input of the sensitive element is obtained. This will be possed of actual significance for transducer technology in micromachining.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第3期26-27,共2页
Instrument Technique and Sensor
基金
安徽省自然科学基金
