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共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响

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摘要 共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］，光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］，可得如下关系式：１．...
作者 李鹏生 于瀛洁 张琢 于英满
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期189-191,206,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument
基金 航天工业总公司资助的重点预研项目
关键词 干涉仪 激光束 角漂移 外差 共光路
分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]
  • 相关文献

参考文献4

  • 1于瀛洁，硕士学位论文，1996年
  • 2张善钟，计量技术，1995年，8卷，增刊，76页
  • 3团体著者，非接触表面形貌检测装置设计报告，1992年
  • 4赵凯华，光学，1984年，165页
仪器仪表学报
1998年 第2期

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