石英钟罩式MPCVD制备金刚石薄膜

利用自行研制的新型石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）装置进行制备金刚石薄膜的实验研究。用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）对形貌观察和喇曼谱测试表明，由此装置可以获得面积较大、晶体良好、杂质少。